CP-8 Marathon 

Marathon CP-8是一款由SHI Cryogenics Group生产的高性能低温泵，属于Marathon CP系列。它专为满足高真空工艺的需求而设计，广泛应用于半导体制造、平板显示、测试设备、太阳能制造、涂层和热真空系统等领域。

主要特点与功能

紧凑设计:CP-8是Marathon CP系列中最小的低温泵之一，具有紧凑的设计，适合安装在空间有限的系统中。

高性能:采用SHI的CH-204 10K低温冷却器和Displex®气动驱动技术，具有高抽速、高交叉压力和长寿命等特点。

易于维护:可在不破坏真空或从腔室中取出泵的情况下进行现场维修，降低了维护成本和停机时间。

自动化操作:可选配Marathon低温泵控制器，实现全自动操作，提高生产效率。

技术参数

抽速:空气：1500 L/s，水：4200 L/s，氩气：1250 L/s，氢气：2300 L/s

通过量:氩气：11.0 torr-liters/sec.(870 sccm)

容量:氩气：1200标准升，氢气：25标准升

交叉压力:220 torr-liters

冷却时间:75分钟

入口法兰:ANSI 6英寸，ISO 200毫米或Conflat 10英寸

应用场景

半导体制造:用于制造集成电路、晶圆等。

平板显示:用于制造液晶显示屏、有机发光二极管等。

测试设备:用于测试真空系统的性能。

太阳能制造:用于制造太阳能电池。

涂层:用于真空镀膜。

热真空系统:用于模拟太空环境。

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