LAM 839-101612-887 半导体

LAM 839-101612-887 半导体

LAM 839-101612-887 是静电吸盘 (ESC) 部件，用于 LAM Research Corporation 生产的半导体晶片蚀刻和灰化设备。它是半导体制造过程中的一个关键部件，可确保在蚀刻和灰化步骤中晶片被牢牢固定并正确对齐。

产品概述

产品名称： LAM 839-101612-887
产品类型： 静电卡盘 (ESC) 元件
产品品牌： LAM Research Corporation LAM Research Corporation
产品制造商： LAM Research Corporation LAM Research Corporation
产品参数

零件编号： 839-101612-887
卡盘尺寸： 200mm
电压范围： 0-1000V 0-1000V
电流容量： 10A
真空兼容性 是
冷却剂兼容性 是
应用领域

半导体晶片蚀刻
半导体晶片灰化
产品特点

高夹持力，可安全夹持晶片
均匀的静电场可实现精确的晶片对准
颗粒生成量低，可实现清洁处理
与各种蚀刻和灰化化学试剂兼容
结构耐用，使用寿命长
产品优势

提高晶片蚀刻和灰化工艺性能
提高晶片产量和产品质量
减少工艺缺陷和颗粒污染
降低运营成本和维护费用
产品选择

选择合适的 LAM 839-101612-887 ESC 组件取决于特定的蚀刻和灰化应用、晶片尺寸和设备配置。需要考虑的因素包括

晶片尺寸和材料
蚀刻和灰化工艺参数

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状态:库存，全新

付款方式:电汇，30%定金，70%余款

价格:请联系我们进一步查询。所有报价都是不含税的出厂价。

备注:本设备不包括其他附件、手册、电缆、校准数据、软件等，除非在上述库存项目说明中列出。

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