尼得科仪器株式会社开发出适用于真空环境的液晶基板搬运机器人

尼得科株式会社的集团公司尼得科仪器株式会社（旧日本电产三协）开发出了能够在真空环境下工作的液晶基板搬运机器人，该机器人具有与在大气环境下工作同等的关节自由度。 在液晶面板和有机EL等显示器的制造工艺中...